超纯管道应用领域
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超纯管道应用领域

浏览数量: 287     作者: 本站编辑     发布时间: 2023-04-18      来源: 本站

国际半导体产业协会(SEMI)数据显示,2022年全球半导体设备市场规模为:晶圆制造前端设备1010亿美元,后端封装设备77.6亿美元,后段测试设备87.7亿美元


超纯管道应用领域主要为:


晶圆制程前道,涉及泛半导体,光电子,光伏及电子元器件领域, 具体包含:


  • 刻蚀设备及薄膜设备(PVD、CVD)、氧化/扩散炉、清洗/退火等设备品类,可广泛应用于集成电路、先进封装、LED、光伏、MEMS 等多领域

  • CCP 设备, ICP 刻蚀设备

  • 化学机械抛光(CMP)设备

  • CVD 薄膜设备,  主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备

  • 离子注入机

  • 涂胶显影

  • 清洗设备

  • 检测设备


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