浏览数量: 562 作者: 本站编辑 发布时间: 2023-04-18 来源: 本站
国际半导体产业协会(SEMI)数据显示,2022年全球半导体设备市场规模为:晶圆制造前端设备1010亿美元,后端封装设备77.6亿美元,后段测试设备87.7亿美元
超纯管道应用领域主要为:
晶圆制程前道,涉及泛半导体,光电子,光伏及电子元器件领域, 具体包含:
刻蚀设备及薄膜设备(PVD、CVD)、氧化/扩散炉、清洗/退火等设备品类,可广泛应用于集成电路、先进封装、LED、光伏、MEMS 等多领域
CCP 设备, ICP 刻蚀设备
化学机械抛光(CMP)设备
CVD 薄膜设备, 主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备
离子注入机
涂胶显影
清洗设备
检测设备